EBARA荏原干式真空泵都有什么公司在用

EBARA（荏原制作所）的干式真空泵凭借其高洁净度、耐腐蚀性和可靠性，被全-球众多半导体巨-头、面板制造商、光伏企业及科研机构采用。以下是其核心客户及应用案例的详细分类：

1. 半导体行业（核心市场）

（1）晶圆制造巨-头

• 台积电（TSMC）：

• 用于EUV光刻机配套（ASML设备集成）及**先-进制程（3nm/5nm）**的蚀刻、CVD工艺。

• EBARA泵占比超50%（尤其在中国台湾Fab18/美国亚利桑那工厂）。

• 三星电子（Samsung）：

• 韩国平泽工厂的DRAM和3nm逻辑芯片产线，主要匹配离子注入机和原子层沉积（ALD）。

• 英特尔（Intel）：

• 美国俄勒冈州D1X工厂的FinFET工艺，采用EBARA耐氟-化-氢（HF）型号。

• 中芯国际（SMIC）：

• 上海/北京厂28nm及14nm FinFET产线，受益于EBARA中国本地化服务（苏州工厂供应）。

（2）半导体设备厂商

• 应用材料（Applied Materials）、泛林（Lam Research）、东京电子（TEL）：

• 将EBARA干泵集成到刻蚀机（如Lam 2300）、CVD设备（如AMAT Centura）中捆绑销售。

2. 平板显示（FPD）行业

• 京东方（BOE）：

• 合肥10.5代线OLED蒸镀工艺，使用EBARA无油泵避免有机材料污染。

• 三星显示（Samsung Display）：

• QD-OLED量子点面板生产，要求泵体耐高温（150°C以上）。

• LG Display：

• 广州8.5代线，用于大尺寸玻璃基板搬运的真空吸附系统。

3. 光伏产业

• 隆基绿能（LONGi）：

• PERC电池片生产线，处理SiH₄/NH₃工艺气体，采用EBARA防爆型号。

• 通威股份（Tongwei）：

• HJT异质结电池量产线，依赖EBARA泵的高抽速（≥500 m³/h）和低水氧残留。

4. 科研与高-端制造

• 欧洲核子研究中心（CERN）：

• 粒子加速器真空系统，需磁悬浮轴承干泵（极限真空10⁻⁷ Pa）。

• ASML：

• EUV光刻机的真空传输模块，要求零颗粒污染（EBARA定制LITHO系列）。

• 中-国-科-学-院微电子所：

• 国产光刻机研发配套，选用EBARA泵作为过渡方案。

5. 其他工业领域

• 丰田氢能研发中心：

• 燃料电池电堆测试，使用EBARA防氢爆泵。

• 东芝存储器（Kioxia）：

• 3D NAND闪存生产，应对高深宽比蚀刻的副产物处理。

6. 竞争对手客户对比

关键合作案例

• 台积电美国工厂：
  EBARA与台积电联合开发耐极寒气候干泵（亚利桑那州沙漠温差适配）。

• 长江存储（YMTC）：
  中国本土化供应链中，EBARA苏州工厂优先供货，规避美国出口管制风险。

为何这些公司选择EBARA？

1. 工艺匹配性：半导体气体化学特性复杂（如Cl₂、HF），EBARA材料技术更成熟。

2. 本地化服务：亚太地区2小时响应，比欧美品牌（如Edwards）维护周期缩短50%。

3. 成本优势：日本制造溢价低于欧洲，但可靠性高于中国国产泵（如中科仪）。

总结：EBARA的客户群覆盖了全-球-顶-尖科技企业，其核心壁垒在于：

• 半导体头部客户的深度绑定（如台积电、三星）；

• 多行业渗透能力（从芯片到光伏、氢能）。
  未来需警惕中国国产替代（如沈阳拓荆）对成熟制程市场的冲击。