北京金宏电子材料有限责任公司-北方半导体 “气体生命线”

北京金宏电子材料有限责任公司（北京金宏），2021 年成立，金宏气体（688106）全资子公司，北京经开区，专注半导体电子大宗气体 + 超高纯特种气体，北方集成电路核心供气基地，服务 12 英寸晶圆厂。

核心定位：北方集成电路二期电子大宗载气项目建设运营方，为北方集成电路技术创新中心供应全品类超高纯气体，国产替代核心企业。

核心产品（ppb 级超高纯）

大宗载气：氮气（GN2/PN2）、氢气（PH2）、氧气（PO2）、氩气（PAr）、氦气（PHe）、二氧化碳（PCO2）。

高纯压缩空气：CDA、IA、HPCDA、XCDA（半导体工艺 / 仪表专用）。

特种电子气体：超纯氨、高纯氧化亚氮、电子级硅烷 / 乙硅烷、全氟类气体（刻蚀 / 沉积 / 离子注入用）。

下游应用：12 英寸晶圆制造（刻蚀、沉积、离子注入、清洗、扩散）、先进封装、半导体设备、光伏 / LED、电子材料。

核心客户：北方集成电路技术创新中心、中芯国际、华虹、北京燕东微电子等北方半导体企业。

二、核心生产与检测设备仪器

1. 气体制备与纯化（核心）

Super-N 超高纯制氮装置：金宏自研，**ppb 级（≤1ppb 杂质）** 氮气，产能 4800Nm³/h，满足 12 英寸晶圆厂需求。

氢气纯化器（钯膜 / 变压吸附）：原料氢→脱氧 / 脱水 / 脱杂质→**99.99999%（7N）** 高纯氢，产能 30Nm³/h。

空分设备（深冷 / 膜分离）：空气分离→氧 / 氮 / 氩，高纯氧（5N）、高纯氩（6N），产能 24/25Nm³/h。

氦气 / 二氧化碳提纯系统：进口原料气→多级过滤 / 吸附→高纯氦（6N）、高纯 CO2（5N），产能 10Nm³/h。

特种气体合成 / 纯化线：超纯氨、硅烷、全氟丁二烯等电子特气专用合成 + 精馏 + 纯化设备，杂质控制≤1ppb。

2. 气体输送与分配

大宗气站储罐（低温 / 高压）：液氮 / 液氧 / 液氩储罐（100m³+）、高压氢气 / 氦气钢瓶组，稳压 / 恒流输送。

气体纯化间（FAB 厂房）：末端纯化器、过滤器（0.003μm）、压力调节阀，终端 ppb 级纯度保障。

高纯管道系统（EP 级）：316L 不锈钢电解抛光管道、自动焊接、氦检漏，无泄漏、无二次污染。

3. 分析检测与质量控制（关键）

气相色谱仪（GC）：TCD/FID/PDHID 检测器，测微量杂质（O2/H2O/CO/CO2），检出限≤1ppb。

露点仪（高精度）：测水分含量，-110℃~+20℃，精度 ±0.1℃，控制 H2O≤1ppb。

氧分析仪（ppb 级）：电化学 / 荧光法，测 O2≤1ppb，保障无氧工艺环境。

氦质谱检漏仪：管道 / 设备检漏，泄漏率≤1×10⁻¹¹Pa・m³/s，杜绝微量泄漏。

颗粒计数器：检测气体中 0.01μm 以上颗粒，≤1 颗 / 立方英尺，符合半导体洁净标准。

ICP-MS（电感耦合等离子体质谱）：检测金属杂质（Fe/Cu/Na 等），≤0.1ppb，避免晶圆污染。

4. 安全与环保设备

防爆控制系统：氢气 / 特种气体泄漏检测、紧急切断、惰性气体吹扫，防爆等级 Ex d IIC T4。

废气处理装置（ scrubber / 焚烧）：酸性 / 碱性 / 易燃废气→中和 / 燃烧→达标排放，符合 GB 37822。

氮气灭火系统：气站 / 纯化间专用，自动灭火 + 惰性保护，降低火灾风险。

三、核心工艺流程（电子大宗气体）

原料制备：空气（空分）/ 工业氢 / 液氨等→原料气储罐→预处理（除油 / 除尘）。

多级纯化：原料气→粗纯化（脱水 / 脱氧）→精纯化（吸附 / 精馏 / 钯膜）→ppb 级超高纯气体。

终端过滤：纯化后气体→0.003μm 精密过滤器→去除微颗粒。

分析检测：在线 GC / 露点仪 / 氧分析仪→实时监控纯度 / 杂质，不合格自动切断。

输送供气：高纯气体→EP 级管道→FAB 厂房纯化间→终端用气点，稳压恒流供应。

北崎国际贸易（北京）有限公司    

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