上海高笙集成电路设备有限公司 核心业务简介

上海高笙集成电路设备有限公司，上海高笙集成电路设备有限公司（上海高笙），2019 年成立，临港新片区，国家的级高新技术企业、专精特新中小企业，隶属高昇创芯集团，专注半导体 SUB FAB 尾气处理设备与温控 / 流体零部件研发制造，服务晶圆厂、三代半导体、新能源与面板行业。

核心定位：半导体尾气处理（Local Scrubber）+ 精密温控 / 流体系统国产替代核心厂商，提供设备研发、生产、销售与维保全链条服务。

核心产品

SUB FAB 尾气处理设备（Local Scrubber）：半导体刻蚀 / 沉积 / 扩散等工艺废气处理（酸碱、有毒、易燃、含尘废气），核心为复合式冷阱 + 吸附 + 洗涤一体化装置，处理流量 50–500m³/h，去除效率≥99%。

精密温控系统：加热带（Heating Jacket，-40℃~200℃，均匀控温 ±0.5℃）、热氮系统（Hot N₂，150–250℃，高纯氮气加热输送）、制冷机（Chiller，-80℃~20℃，精准冷却）。

半导体设备核心零部件：高纯气体管路组件、EP 级 316L 不锈钢管件、真空法兰、精密过滤器、压力 / 流量传感器、定制化腔体与阀门。

下游应用：12 英寸晶圆厂、三代半导体（SiC/GaN）、光伏 / LED、液晶面板、新能源电池等制造领域。

核心客户：中芯国际、华虹、北方集成电路创新中心、TCL 华星、三安光电等。

二、核心生产与检测设备仪器

1. 尾气处理设备（Local Scrubber）制造

数控钣金加工中心：机架 / 腔体精密加工，精度 ±0.02mm，材质 304/316L 不锈钢。

自动焊接机（氩弧 / 激光）：腔体 / 管路焊接，氦检漏合格（泄漏率≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s），无二次污染。

冷阱组装工装：复合式冷阱（内外双冷结构）装配，确保换热效率与粉尘吸附能力。

密封测试台：整机气密 / 水密测试，0.6MPa 保压 30min 无泄漏。

2. 温控系统与零部件加工

精密绕线机：加热带电阻丝均匀缠绕，功率密度稳定，绝缘耐压≥5kV。

数控车床 / 铣床：高纯管件、法兰、阀门加工，表面粗糙度 Ra≤0.8μm，适配 EP 级管道。

真空钎焊炉：零部件真空焊接，高温强度高、密封性好，适用于真空 / 高纯环境。

超纯水清洗线：零部件18.2MΩ・cm 超纯水 + 超声波清洗，无尘等级 Class 100，无颗粒 / 离子残留。

3. 检测 / 验证设备（质量核心）

气体分析仪（FTIR/GC-MS）：尾气处理效率检测，微量杂质（ppb 级）定量，符合 SEMI 标准。

露点仪（高精度）：热氮系统水分检测，-110℃~+20℃，精度 ±0.1℃，控制 H₂O≤1ppb。

温度校准仪：加热带 / 制冷机温控精度验证，±0.1℃分辨率，全量程校准。

氦质谱检漏仪：腔体 / 管路 / 零部件检漏，泄漏率≤1×10⁻¹¹Pa・m³/s，保障高纯 / 真空环境。

三坐标测量机（CMM）：关键尺寸检测，精度 ±0.003mm，确保零部件互换性。

洁净度测试仪：零部件表面颗粒检测，≤0.1μm 颗粒≤1 颗 /㎡，符合半导体洁净要求。

4. 辅助设备

无尘车间（Class 1000）：核心工序组装 / 测试，温湿度（23℃±2℃，50%±5% RH）精准控制。

SAP 仓储管理系统：1200 + 种零备件全生命周期管控，快速响应客户维保需求。

三、核心工艺流程（Local Scrubber）

钣金 / 腔体加工：不锈钢板材→数控切割 / 折弯→焊接→氦检漏→超纯水清洗→烘干。

核心组件装配：冷阱（内外双冷结构）→吸附单元→洗涤单元→风机 / 动力系统→电控系统集成。

温控 / 流体系统匹配：加热带 / 热氮系统→管路连接→温度 / 压力校准→联动测试。

整机性能验证：气密测试→气体处理效率测试→温控精度测试→连续运行稳定性测试。

包装交付：无尘封装→氮气保护→防振包装→交付客户，提供安装调试与维保服务。

北崎国际贸易（北京）有限公司    

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