MS-500氧浓度计简介｜1台控制器凭什么叫板8台单点氧分析仪？

TORAY东丽 MS-500 传感器

TORAY东丽 MS-500 传感器

TORAY东丽 MS-500 氧化锆多点氧气浓度计，一款让不少半导体工艺工程师反复确认的型号：它只有1台控制器，凭什么敢叫板8台单点氧分析仪的组合？凭什么能在多腔体、多管道的复杂工况中游刃有余？答案藏在TORAY东丽对多点同步测量技术与分体式直插结构的深度整合中。

传统单点氧分析仪方案——每个监测点位需要1台完整的分析仪，8个点位就是8台设备；安装空间大、成本高、数据分散难以统一管理。MS-500——1台MS-500控制器可连接1至8套MS-510转换器+SD传感器。各测点独立、互不干扰。所有数据集中显示/输出，统一管理。

MS-500采用分体式直插设计——SD传感器直插真空腔/管道，无需采样系统；MS-510转换器壁挂/就近安装；标准2米线缆（最长10米）连接传感器与MS-500控制器。适配真空与狭小空间，安装灵活。测量范围0.001ppm至100vol%O₂，从ppb级微量氧到高浓度氧全覆盖。≤1秒响应，≤6分钟预热。

TORAY东丽 MS-500——用1台控制器的多点同步设计，重新定义了高精度氧浓度监测的效率与成本标准。