告别真空测氧采样干扰精度不足｜TORAY东丽SD16NW氧传感器

TORAY东丽 SD16NW 传感器

TORAY东丽 SD16NW 传感器

在真空镀膜、真空热处理、半导体制造等真空设备氧浓度监测场景中，最让人头疼的无外乎三个问题——采样干扰：传统采样式氧浓度计需要从真空腔体抽取气体，可能改变真空环境或引入污染；精度不足：普通氧传感器无法实现ppb级测量，微量氧监测形同虚设；安装受限：一体式传感器体积大，无法在紧凑的真空设备上灵活安装。TORAY东丽 SD16NW 氧化锆氧气浓度计传感器，正是为解决这些痛点而生。

告别采样干扰——采用直插式无采样设计，传感器通过ISO真空法兰NW16直接安装在真空管线或腔体法兰上。无需采样泵、无需抽气，不干扰真空环境。

告别精度不足——测量范围覆盖0.001ppm至100vol%O₂。采用氧化锆浓差电池原理，从ppb级微量氧到高浓度氧，全量程精准测量。配合LD-450、MS-500等转换器，实现高精度氧浓度监测。

告别安装受限——采用分体式设计，传感器全长仅100mm、重量仅0.2kg。传感器直插真空腔体，转换器壁挂安装在便捷位置。通过专用线缆连接，安装位置灵活，适配各种复杂真空工况。

告别频繁维护——配备TORAY的氧传感器保护机制，实现了超越传统产品的耐用性。

TORAY东丽 SD16NW——用直插真空设计与分体式灵活结构，终结真空设备氧浓度监测的种种烦恼。