SUN-11氮化硅球简介｜9.5莫氏硬度凭什么叫板金刚石？

NIKKATO日陶 SUN-11 氮化硅球

NIKKATO日陶 SUN-11 氮化硅球

NIKKATO日陶 SUN-11氮化硅球，一款让不少工艺工程师反复确认的产品：莫氏硬度9.5级，凭什么敢叫板硬度10级的金刚石？凭什么能在半导体CMP和纳米研磨中独当一面？答案藏在NIKKATO日陶对氮化硅陶瓷性能的追求中。

普通研磨球——氧化锆球莫氏硬度约8.5，氧化铝球约9.0，在高速研磨中磨损快、污染高。SUN-11——莫氏硬度9.5级，维氏硬度1,390 HV10。硬度接近金刚石，磨损率极低。抗压强度超过2.0 GPa，在高速冲击和重载荷工况下依然保持结构完整。

SUN-11金属杂质控制在10ppm以下，空气中长期耐温1200℃，热导率17 W/(m·k)，耐热冲击性600℃。球形度≥99.5%，圆度偏差小于0.05%。NIKKATO日陶 SUN-11——用9.5莫氏硬度与近球形度的组合，重新定义了精密研磨介质的性能极限。