TRIN高柳TAS-1783空间电离器安装部署方案灵活适配多种洁净场景

TRIN高柳 TAS-1783 SFS-N2-0860 空间电离器

TRIN高柳 TAS-1783 SFS-N2-0860 空间电离器

TRIN高柳TAS-1783 SFS-N2-0860空间电离器的安装部署具有较高的灵活性。作为空间除电系统的组件，TAS-1783可根据实际需求安装于多种位置。在氮气氛围手套箱或密闭工作舱中，可将TAS-1783安装于舱体内部，针对封闭空间进行全域除电。在半导体制造车间，可将其安装在旋涂工位、光刻工位或晶圆检测工位附近，针对局部区域增强离子密度。TAS-1783体积紧凑，支持壁挂式或支架式安装。安装时需确保设备周围有足够的空间供离子扩散，避免被障碍物遮挡。设备不产生气流，因此不会干扰洁净室的层流方向，可放心安装于层流罩下方或洁净工作台旁边。对于已经部署了TRINC空间除电系统的用户，TAS-1783可作为扩展单元灵活加入现有网络，通过专用链接端口实现多台设备的同步极性控制，提升特定区域的除电能力。