TRIN高柳TAS-841 SFS-SD-1510在宽幅产线应用

TRIN高柳 TAS-841 SFS-SD-1510 空间链接

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半导体制造车间和FPD面板产线对静电和粉尘的控制要求极为严苛。晶圆和面板在传输、加工过程中，静电吸附的微小颗粒可能导致电路短路、图形缺陷甚至整片产品报废。TRIN高柳TAS-841 SFS-SD-1510空间链接为宽幅产线提供了一种不依赖洁净室基建的静电管控方案。

该产品的无风除电特性在宽幅产线应用中尤为关键。晶圆和面板表面极其精密，传统离子风机的气流可能将颗粒吹到产品上，造成划伤或污染。TAS-841 SFS-SD-1510不产生气流，仅依靠离子在空间中弥散，中和产品表面及周围漂浮粉尘的静电，使粉尘失去吸附力。1510mm的有效长度使其能够覆盖宽幅传输轨道和大型机械手运动区域，单台设备即可满足宽幅工位的除电需求。

内置的离子量检测传感器实时维持正负离子平衡，保护对静电敏感的晶圆、面板和掩模版。设备无需加湿的特性使其适用于洁净室中湿度受限的区域，避免了加湿可能带来的产品表面水汽凝结问题。操作人员无需佩戴防静电腕带即可在工位内自由走动，静电随人体移动被附近的离子即时中和。

TAS-841 SFS-SD-1510支持多台串联扩展，对于更宽的产线区域，可通过串联方式覆盖。放电针快拆设计使维护只需数秒即可完成，不中断产线运行。该产品适用于晶圆传输轨道、FPD面板产线、光学薄膜卷材加工、印刷涂布设备等多种宽幅制造场景，为宽幅产线提供了一种从根源上抑制颗粒污染的静电管控方案。