告别多点测氧设备堆砌采样干扰｜TORAY东丽MS-500/SD多点氧浓度计新品发布

#2026年新品发布会#

日期：2026年8月14日

时间：8：30-18：30

近期我司新推出升级了

TORAY东丽 MS-500/SD 传感器

TORAY东丽 MS-500/SD 传感器

在半导体制造、真空热处理、多腔体设备等需要多点氧浓度监测的场景中，最让人头疼的无外乎三个问题——设备堆砌：监测多个点位就需要购买多独立氧浓度计，设备成本高、占用空间大、布线复杂；采样干扰：传统采样式氧浓度计需要从真空腔体抽取气体，可能改变真空环境或引入污染；精度不足：普通氧浓度计无法实现ppb级测量，微量氧监测形同虚设。TORAY东丽 MS-500/SD 分体式多点氧化锆氧分析仪新品发布，正是为解决这些痛点而生。

告别设备堆砌——采用多点同步测量架构，一台MS-500控制器可连接最多8套传感器组。一台顶八台，大幅降低设备成本、节省安装空间。

告别采样干扰——采用直插式无采样设计，SD传感器可直接插入真空腔体或真空管线（ISO真空法兰NW16/25/40或R3/8螺纹）。无需采样泵、无需抽气，不干扰真空环境。

告别精度不足——测量范围覆盖0.001ppm至100vol%O₂。≥1%量程重复性±0.5%FS。从ppb级微量氧到高浓度氧，全量程精准测量。

告别响应缓慢——传感器响应时间≤1秒，预热≤6分钟。TORAY东丽 MS-500/SD——用多点同步测量与直插真空设计的组合，终结多点氧浓度监测的种种烦恼。