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KOFLOC 科赋乐 小型高性能数字质量流量计 EX-201SC-RJ系列S.P.精度保证的高精度质量流量控制器
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KOFLOC 科赋乐 小型高性能数字质量流量计 EX-201SC-RJ系列
KOFLOC 科赋乐 小型高性能数字质量流量计 EX-201SC-RJ系列
高精度(±1%瞬时流量)
在一定区间可修改全量程范围
支持多范围、多气体、
在免费提供的软件上操作简单
输出输入可选择0-5V/4-20mA
电源也可以选择DC24V
数字通信RS485(9600bps)
常用性的连接头
Dsub9针插头、RJ-45 模块化插孔×2
S.P.精度保证的高精
度质量流量控制器
传落器类型 | 热式绕线型 | |
---|---|---|
适用气体※1 | N₂ (可根据气体转换功能适用Air,H2,He,ArO2,CO2,CH4) | |
流量量程※3 (0℃,tatm) | 10、30、50、100、300、500sccm, 1、3、5、10sim | |
控制范围 | 2-100%(FS) | |
响应性 | 所有量程控制范围1秒以内(within±2%F.S.typical) | |
精度 | ±1.0%S.P. (>35%F.S.),0.35%FS. (≤35%F.S.) | |
重现性 | ±0.2%FS | |
动作压差※4 | 50-300kPa(L:50~149kpa、H:150~300Kpa) | |
入口最大压力 | 500kPa(G) | |
耐压 | 980kPa(G) | |
外部泄漏率 | 1.0×10-⁸Pa ·m³/sec(He)以下 | |
温度 | 充许环境温度 | 5~50℃ |
精度保证温度 | 15~35℃ | |
允许保存温度 | -10~60℃ | |
允许环境湿度 | 10~90%RH(未出现冷凝) | |
与气体接位部位的材 质 | SUS316,SUS316L,磁性不锈钢,PTFE,PCTFE,FKM | |
电气连接 | Dsub9针KFC Standard(依据SEMI standard) RJ-45模块化插孔×2 | |
流显设置信号 | V:0~5VDC(输入抗阻1MQ以上)/ I:4~20mA((输入抗阻2502以上) | |
流量输出佰号 | V:0~5VDC(最小负载电阻10Ω以上) I:4~20mA(最小负载电阻5002以上) | |
数字通信 | RS485旋转开关的地址设置 可选(MODBUS-RTU9600bps) | |
所需电源 | 24VDC(±10%)300mA以下 | |
接头 | 1/4SW(标准) | |
安装方位 | 建议水平方向 | |
重量 | MFC:约500g |
mengyan@kitazaki.cn
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