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KOFLOC 科赋乐 高档质量流量计 3100系列这种高级型号采用新型低压力毛细管流量传感器,可确保高速响应和长期稳定性。
产品型号:3100系列
厂商性质:经销商
更新时间:2025-09-04
访 问 量:185
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KOFLOC 科赋乐 高档质量流量计 3100系列
KOFLOC 科赋乐 高档质量流量计 3100系列
配备温度跟踪式电流差检测型流量传感器,实现高精度,高速响应
F.S.1 SCCM微流量支持(SR选项)
| 流量范围 (N2转换20°C / 1 ATM) | 1SCCM~20SLM(可选) |
|---|---|
| 传感器方式 | 热绕组传感器 |
| 响应速度 | 1秒内 |
| 准确性 | ±1%FS(15~35°C) |
| 再现性 | 在±0.2%FS(20°C)内 |
| 耐压 | 980kPa(G) |
| He泄漏率(* 1) | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 |
| 允许周围温度 | 0~50℃ |
| 允许环境湿度 | 10~90%RH(无结露) |
| 气体接触材料 | 车身SUS316L |
| 密封材料FKM(选件CR或NBR或Kallets) | |
| 电气连接 | Dsub 9针KFC标准(符合SEMI标准) |
| 流量输出信号 | 0~5 VDC(外部负载电阻250kΩ以上) |
| 所需电源 | +15 VDC(±5%)100 mA -15 VDC(±5%)100 mA |
| 接头 (体型) | 标准1 / 4F 900(9 / 16.18 UNF) 选项1/8 F900,1 / 4 UJR,Rc1 / 4等 |
| 重量 | 约800g |
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