日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X100N，作为中等负荷工艺专用的干式真空泵，搭载荏原有的节能技术，采用面向自动化工厂制造的优化模块设计，并进一步实现了小型化和节能化。
产品型号：EV-X100N厂商性质：经销商更新时间：2025-05-28访 问 量：108
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日本EBARA荏原 干式真空泵 EV-X100N
作为中等负荷工艺专用的干式真空泵，搭载荏原有的节能技术，采用面向自动化工厂制造的优化模块设计，并进一步实现了小型化和节能化。
通过大范围的温度控制，扩大了适用工艺范围。因同一机型能够覆盖多种工艺，能够优化备用设备的库存，减少用于维护和培训的人力时间，并且能够灵活应对未来的工艺扩展。此外，在所有工艺中实施最佳的温度控制，从而实现工艺耐受性的提高，并且通过延长部件的更换周期，帮助减少TCoO。
应对的应用例：各种蚀刻和CVD、灰化、离子植入、外延生长等。
产品规格
| 型式 | EV-X100N | EV-X200N | EV-X300N |
|---|---|---|---|
| 最大处理风量(L/min) | 10,000 | 20,000 | 30,000 |
| 到达压力(Pa) | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 电源规格 | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) | 3相200-220V (50/60Hz) |
| 到达底压时消耗电力(kW)* | 0.9 | 1 | 1.5 |
mengyan@kitazaki.cn
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