气体流量控制器 西部销售LINTEC林泰克 MC-3000L-TC
气体流量控制的最高使用温度120℃、非通电状态下使用温度可高达150℃的耐高温质量流量控制器。

通过将高温气体接触部分与不耐热的基板部分分离，可以实现高温环境下的气体控制。接气体加热模块采用不锈钢材料SUS-316L，密封材料采用Au，可对应腐蚀性气体。在标准配置基础上，还可选配防止液化气体再次液化的低压差规格，以及接触气体部分专用加热模块。
气体流量控制器 西部销售LINTEC林泰克 MC-3000L-TC
气体流量控制器 西部销售LINTEC林泰克 MC-3000L-TC

使用范例

液化气体、升华气体流量控制

CVD（化学气相沉积法）和 ALD （原子层沉积法）中所使用的气源不仅限于常温常压下的气体，也可能是常温常压下的液体或固体原料。液体和固体在常温条件下产生的气体较少，很难利用压差原理来控制流量。因此，MFC的工作压力是通过加热原料罐并增加蒸汽压力以产生压差来确保的。MC-3000L-TC能够进行高温控制和低压差工作，是液化和挥发性气体流量控制的理想选择。

规格表

※此表仅表示一般规格的MFC。　根据选配规格变化。

■简 介
●MC-3000L-TC 系列是可适用最高温度达120℃的质量流量控制器
■特 点
●可用于120℃高温环境下操作
●采用标准RS-485数字通讯接口
●搭配LINTEC的环境温度补偿式质流传感器
●内置微处理器提高处理效能
●控制阀由具有极小闭死容积的隔膜阀构造所组成
●采用高速度，高性能的压电控制阀
●使用耐久性高、密闭性高的金属密封件,维护性提高
●采用金属外壳以及各种滤波器，在高磁噪音及直流磁场的环境下亦能维持其安定性