日本LINTEC林泰克 低压差环境流量控制器 MC-3102S
低压差质量流量控制器 MC-3000S
低压差质量流量控制器，最小工作压差为 800Pa （6 Torr）。

配备LINTEC的环境温度补充质量流量传感器，在±1%F.S.精度范围内减少压力损失。
配备的高性能压电控制阀，即使在低压差压力环境下也能实现稳定、精确的流量控制。
日本LINTEC林泰克 低压差环境流量控制器 MC-3102S
日本LINTEC林泰克 低压差环境流量控制器 MC-3102S

使用案例

低温环境下低蒸气压气体的流量控制

MC-3000S系列是LINTEC开发的具有压力损失结构的质量流量控制器，即使在室温下，当二次侧处于真空状态时，也可以控制H2O等液体原料的流量。 建议使用将少量水蒸气输送到真空室的ITO溅射方法。 此外，即使在室温下，即使是低蒸气压的固体原料，如XeF2，也可以进行流量控制。

减压罐容器（SDS 容器）的流量控制。

离子注入设备使用AsH3、PH3等特殊材料气体，常使用安全输送源（SDS）容器，以实现安全稳定的输送。 充注SDS的罐体压力低于大气压，需要与低压差环境相对应的MFC。 MC-3000S系列产品具有低压差结构，可以满足这一需求。

规格表

*此表仅显示一般规格的 MFC。 根据可选规格而有所不同。

■简 介
●MC-3000S系列是利用LINTEC开发的低压损设计， 针对低压差环境的质量流量控制器
■特 点
●开发的低压损构造，可在6Torr低压差的环境下,控制10SCCM(N2 )的流量
●可运用在AsH3和PH3杂质掺入制程，亦可控制未加热的XeF2或H2 O等固体、液体
●采用标准RS-485数字通讯接口
●搭配LINTEC的环境温度补偿式质流传感器
●内置微处理器提高处理效能
●控制阀由具有极小闭死容积的隔膜阀构造所组成
●采用高速度，高性能的压电控制阀
●使用耐久性高、密闭性高的金属密封件,维护性提高
●采用金属外壳以及各种滤波器，在高磁噪音及直流磁场的环境下亦能维持其安定性