TOKYO KEISO东京计装 超声流量检测器 大连
UCUF系列是适合半导体制程中涂胶显影、清洗、CMP、药液供给等设备中，纯水、超纯水和各种化学药液的高精度测量的小口径超声波流量计，其由UCUF检测器和SFC转换器组成。

超声波流量计检测器UCUF

UCUF系列是适合半导体制程中涂胶显影、清洗、CMP、药液供给等设备中，纯水、超纯水和各种化学药液的高精度测量的小口径超声波流量计，其由UCUF检测器和SFC转换器组成。

TOKYO KEISO东京计装 超声流量检测器 大连

特点

接液部是PFA材质，没有可动部件，接液部没有容易造成液体滞留的部件(如O型圈)，可以满足高洁净度的要求。

一不需要前后直管段。

高精度(读值的1%)。

量程从10mL/min到80L/min都可以对应。

TOKYO KEISO东京计装 超声流量检测器 大连

测量原理

原理图如右图，采用U型管状检测器，液体从入口流入，经过90流入测定管，再经过90从出口流出。测定管的两端装有发送和接受超声波的压电传感器，测量超声波在液体A一B、B一A间的时间tA、tB。液体静止时tA=tB，液体流动时，tA由于是顺流所以时间短，tB逆流所以时间长，通过tB-tA计算出流速。tA、tB和流量的关系受管路的尺寸、形状、药液粘度等因素影响而不同。通过存有大量实验数据的内置线性转换器，实现高精度的测量。

规格参数

测定对象:液体(不含气泡，不腐蚀PFA材料)流体温度:10~90C(超过90C请联络)

环境温度:060C

流体压力:0~0.5MPa

音速范围:1000~2200m/s

流体运动粘度:0.8~40mm2/s

过程连接:PFA管

保护等级:IP65

放置场所:室内

主要用途

半导体制造行业用的纯水、超纯水的流量测量。

一各种药液供给装置的流量测量。

高腐蚀性液体的流量测量。

CMP Slurry的流量测量。

其他中小口径液体流量测量。

连接线缆

数量:2根，In和Out各一根。

长度:标准5米(如需其他长度请联络)。

材质:外皮PVC(如需其他材质请联络)。

接头:转换器端，单通道BNC、多通道SMB。

检测器端，UCUF-04SE、04E、06E可拆卸。

其他系列不可拆卸。