TOKYO KEISO东京计装 流量计转换器 深圳
一台转换器最大可同时进行6排液体管线的流量测量，因此有助于节能和节省空间。

UCUF用多通道转换器 SFC-011S/SFC8000/SFC8000S/SFC8500

TOKYO KEISO东京计装 流量计转换器 深圳

概要在半导体，药液供给等工艺过程中液体里含有的气泡常常使流量测量出现问题，本转换器采用DSP，能够有效的减轻气泡的影响。

一台转换器最大可同时进行6排液体管线的流量测量，因此有助于节能和节省空间。

TOKYO KEISO东京计装 流量计转换器 深圳

型号                            SFC-011S                               SFC8000                           SFC8000S                                   SFC8500

精度                                                                                   ±1%of R.D.(流速1m/s以上)

低值归零                                                                                     0 *25% of F.S.

显示        7 SegLED(赤红色）4位表示         Power LED:x1            7 SegLED(赤红色）4位表示        Power LED:x1

瞬时流量(单位：mL/min)            Channel LED: x6       瞬时流量(单位：mL/min)             Channel LED: x6

各种错误信息                                                                              各种错误信息                                    Channel LED: x6

参数设定                                          用PC上安装的Configuration软件设定                                                  TwinCAT

模拟输岀                     无                                               无                         DC4-20mA（负载电阻500Q）       无

（额定负载DC30V，10mA以内）

频率输出：0*1000Hz

累计输出：从4种脉冲当量中选择

脉冲输出                     无                                               无                         报警输出：瞬时流量上下限报警      无

断流感知报警

累计报警

通信功能 RS-485、最大可连接6台                          RS-485、最大可连接17台                                           Ether CAT.，最多连接16台

RS-485（维修调试用>

计算周期            5ms/CH                                       3ms/CH                   3ms/CH                                                 3ms/CH

通信响应    0.5,10,20,30,40,50ms(可选)        13ms                       13ms                                                       13ms

电源     DC24V±10%140mA              DC24V±10%80mA            DC24V士10%300mA                         DC24V±10%100mA

安装     DIN导轨安装                                     DIN导轨安装                  DIN导轨安装                                         DIN导轨安装

防护等级                                                                       I P20(室内使用规格)

规 格                                                                                适合EMC EN61326

环 保                                                                                  适合RoHS无铅法规

外壳  耐热ABS树脂（白）                 阻燃ABS树脂（灰）             阻燃ABS树脂（灰)                                阻燃ABS树脂(黑）

重量      约180g                                                       约150g                     约260g                                                      约180g

SFC8000S由转换器SFC8000和扩展单元SFC8000E组合而成，如仅需要RS-485输出，且不需要显示功能，可以仅选SFC8000。如需要模拟量、脉冲信号输出，需选择SFC8000S(SFC8000+SFC8000E的组合)。SFC8500配置EtherCAT通信功能，同时保留了用于维修调试用的RS-485通信功能。

超声波流量计检测器UCUF

UCUF系列是适合半导体制程中涂胶显影、清洗、CMP、药液供给等设备中，纯水、超纯水和各种化学药液的高精度测量的小口径超声波流量计，其由UCUF检测器和SFC转换器组成。

特点

接液部是PFA材质，没有可动部件，接液部没有容易造成液体滞留的部件(如O型圈)，可以满足高洁净度的要求。

一不需要前后直管段。

高精度(读值的1%)。

量程从10mL/min到80L/min都可以对应。

测量原理

原理图如右图，采用U型管状检测器，液体从入口流入，经过90流入测定管，再经过90从出口流出。测定管的两端装有发送和接受超声波的压电传感器，测量超声波在液体A一B、B一A间的时间tA、tB。液体静止时tA=tB，液体流动时，tA由于是顺流所以时间短，tB逆流所以时间长，通过tB-tA计算出流速。tA、tB和流量的关系受管路的尺寸、形状、药液粘度等因素影响而不同。通过存有大量实验数据的内置线性转换器，实现高精度的测量。

规格参数

测定对象:液体(不含气泡，不腐蚀PFA材料)流体温度:10~90C(超过90C请联络)

环境温度:060C

流体压力:0~0.5MPa

音速范围:1000~2200m/s

流体运动粘度:0.8~40mm2/s

过程连接:PFA管

保护等级:IP65

放置场所:室内

主要用途

半导体制造行业用的纯水、超纯水的流量测量。

一各种药液供给装置的流量测量。

高腐蚀性液体的流量测量。

CMP Slurry的流量测量。

其他中小口径液体流量测量。

连接线缆

数量:2根，In和Out各一根。

长度:标准5米(如需其他长度请联络)。

材质:外皮PVC(如需其他材质请联络)。

接头:转换器端，单通道BNC、多通道SMB。

检测器端，UCUF-04SE、04E、06E可拆卸。

其他系列不可拆卸。