TOKYO KEISO东京计装 流量计转换器 华南
流量范围广。电源线和信号线是可装卸的，为使用时的布线和维护提供了方便。

超声波流量计 UCF006

概要检测器和变换器一体式的紧凑型结构。配管内部没有弯曲结构，压力损失小。流量范围广。电源线和信号线是可装卸的，为使用时的布线和维护提供了方便。

测量对象 水  流体温度 10～ 80 °℃

TOKYO KEISO东京计装 流量计转换器 华南

※流体温度和周围温度要在左图斜线范围内

流体压力  0*0.5 MPa      周围温度  0 * 50 °℃

※流体温度和周围温度要在左图斜线范围内

流量范围  0＊8000mL/min

精度保证范围  200＊8000 mL/min  ±2%R.D.（1700mL/min以上）

测定精度 ±34 mL/min  1（1700 mL/min以下）

接液部材质 iPFA    过程连接 3/8“PFA管端（管外径Φ9.53，管内径Φ6.35)

电源 DC24V 士10%

输出电流 DC4-20mA   A（负载阻抗500Q）

开集电极脉冲（负载规格DC30V、10mA）

输出频率  o＊1000HZ  消耗电流  38 mA  通信规格  RS485通信（Modbus协议）

构造  IP65（室内使用规格）

质量 本体约80g电缆约140g

TOKYO KEISO东京计装 流量计转换器 华南

超声波流量计检测器UCUF

UCUF系列是适合半导体制程中涂胶显影、清洗、CMP、药液供给等设备中，纯水、超纯水和各种化学药液的高精度测量的小口径超声波流量计，其由UCUF检测器和SFC转换器组成。

特点

接液部是PFA材质，没有可动部件，接液部没有容易造成液体滞留的部件(如O型圈)，可以满足高洁净度的要求。

一不需要前后直管段。

高精度(读值的1%)。

量程从10mL/min到80L/min都可以对应。

测量原理

原理图如右图，采用U型管状检测器，液体从入口流入，经过90流入测定管，再经过90从出口流出。测定管的两端装有发送和接受超声波的压电传感器，测量超声波在液体A一B、B一A间的时间tA、tB。液体静止时tA=tB，液体流动时，tA由于是顺流所以时间短，tB逆流所以时间长，通过tB-tA计算出流速。tA、tB和流量的关系受管路的尺寸、形状、药液粘度等因素影响而不同。通过存有大量实验数据的内置线性转换器，实现高精度的测量。

规格参数

测定对象:液体(不含气泡，不腐蚀PFA材料)流体温度:10~90C(超过90C请联络)

环境温度:060C

流体压力:0~0.5MPa

音速范围:1000~2200m/s

流体运动粘度:0.8~40mm2/s

过程连接:PFA管

保护等级:IP65

放置场所:室内

主要用途

半导体制造行业用的纯水、超纯水的流量测量。

一各种药液供给装置的流量测量。

高腐蚀性液体的流量测量。

CMP Slurry的流量测量。

其他中小口径液体流量测量。

连接线缆

数量:2根，In和Out各一根。

长度:标准5米(如需其他长度请联络)。

材质:外皮PVC(如需其他材质请联络)。

接头:转换器端，单通道BNC、多通道SMB。

检测器端，UCUF-04SE、04E、06E可拆卸。

其他系列不可拆卸。