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Fluoro福乐 真空吸嘴

Fluoro福乐 真空吸嘴
是国内半导体设备集成商、晶圆制造企业主流选用的进口晶圆真空搬运配件,用于5英寸半导体晶圆搬运的ESD安全真空吸嘴

  • 产品型号:KFU-5-120-D16
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-09-02
  • 访  问  量:74
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日本 FLUORO 福乐 BC-K 系列晶圆真空吸嘴,依托伯努利气流效应实现晶圆非接触式搬运,是半导体洁净车间专用进口晶圆搬运工装,广泛适配 2~12 英寸硅晶圆、超薄晶圆、化合物基板转运作业,解决传统接触式吸盘划伤晶圆表面、产生微粒污染的行业痛点。

 Fluoro福乐 真空吸嘴

产品采用导电尼龙树脂一体成型主体,轻量化机身有效降低机械手负载;标配透明防静电聚碳酸酯导向环,作业过程中可直观观察晶圆悬浮状态,快速确认吸附稳定性。导向挡块采用平缓锥形结构,仅与晶圆外缘形成点状接触,全程规避触碰晶圆光刻、镀膜图案区域,保护晶圆正面线路层不受损伤。
依托伯努利流体动力学原理工作,压缩空气高速喷出后在吸嘴与晶圆之间形成稳定气膜,工件与吸嘴无表面直接接触。可稳定搬运薄至 50μm 超薄晶圆、双面带图案晶圆,大幅降低薄片变形、崩边、膜层划伤风险,适配高良率半导体前道工艺要求。

 Fluoro福乐 真空吸嘴

全系具备可靠 ESD 防静电性能,主体材质可快速疏导搬运过程产生的静电,有效防止静电放电击穿晶圆元器件。提供 20°、45°、90° 三种固定安装角度可选,更换导向环即可兼容不同尺寸晶圆,支持标准圆形晶圆与异形基板定制开发,适配自动化机械手搭载与人工手持两种作业方式。
严格遵循半导体无尘制造标准设计,低产尘结构满足百级洁净室使用规范。广泛应用于晶圆检测、镀膜、湿法清洗、光刻、封装测试等工序上下料环节;日系原厂精工制造,气流控制稳定,长时间连续作业性能一致。














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