MIYUKI/美幸辉 压力控制控制器 进口
搭配伺服真空蝶阀，实现真空腔体闭环精密稳压，适配半导体、光学镀膜、科研真空设备工艺压力控制。

1. 智能 PID 自动整定搭载 PIDAT 自整定算法，通电阀门自动回原点，无需人工反复调试 PID 参数；MGCS‑11 支持 7 组工艺 PID 参数存储，MG‑mini485 支持 2 组 PID 存储，不同工艺配方可一键调用切换，抗积分饱和算法抑制压力超调，避免压力突变冲击腔体工况。

2. 多通道信号采集MGCS‑11 具备双路真空计 0‑10V 模拟输入，可同时接入两台真空计，实现高低真空量程自动切换监测；MG‑mini485 兼容 DC0‑5V、0‑10V、4‑20mA 多种传感器信号，适配市面主流真空计，压力、阀门开度实时可视化输出。

3. 多模式通讯交互MGCS‑11 配置 4 英寸 LCD 触摸屏本地操作，同时支持 I/O 开关量、RS‑232C 串口通讯；MG‑mini485 采用 RS‑485 总线，最多可组网 7 台控制器集中管控。均可对接 PLC、上位机，实现远程参数设置、状态监控、数据记录，适配全自动产线联动控制。

4. 安全防护设计支持外接 UPS 不间断电源，遭遇停电时自动关闭伺服调节阀，阻止大气倒灌腔体，保护晶圆、靶材等昂贵腔体耗材；具备报警输出功能，异常工况及时反馈，降低工艺报废风险。