MIYUKI/美幸辉 压力控制专用阀
用于真空腔体精密压力调节，适配半导体、光学镀膜、科研真空设备。

1. 伺服直驱无背隙结构采用电机直接驱动阀板，取消齿轮传动机构，消除传动间隙，阀位重复定位精度高；微小开度下也可稳定控制压力，开闭动作噪音极低，适配对振动敏感的镀膜、等离子工艺腔体。

2. 低颗粒洁净设计阀体内部无金属滑动摩擦部件，从源头减少微粒产生；气体接触部件采用 SUS304 不锈钢，内腔精加工低放气，适合半导体、光学等高洁净生产环境，减少产品污染风险。

3. 超低泄漏真空性能BAR 系列蝶阀：内部密封泄漏≤1×10⁻⁹Pa・m³/s，轴外部密封泄漏≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s；GAR 系列闸阀密封等级更高，停电刹车锁止，停电状态可维持密闭，防止大气倒灌腔体，保护昂贵工件与靶材。

4. 宽口径宽压力适配BAR 蝶阀口径 25A‑250A，压力范围 10⁵Pa～10⁻⁵Pa；GAR 闸阀口径 80A‑400A，压力范围 10⁵Pa～10⁻⁶Pa。法兰支持 JIS、ISO‑F、KF 多种标准，阀体本体耐温最高 150℃，密封件可选氟橡胶 FKM，也可升级全氟醚 FFKM 适配腐蚀气体工况。

5. 安全断电机制区分BAR 系列：断电保持当前阀位，无锁闭刹车；GAR 系列：断电带刹车锁止，可实现断电全关密封，适合高价值晶圆、靶材等高风险腔体场景。