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MIYUKI/美幸辉 真空蝶阀 进口用于真空腔体流导调节，配合 MGCS‑11、MG‑mini485 控制器实现闭环精密压力控制，广泛用于镀膜、半导体、科研真空设备。
产品型号：ISO厂商性质：经销商更新时间：2026-09-03访 问 量：52
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MIYUKI 美幸辉 B 系列（BAR 系列）伺服控制真空蝶阀，是真空系统专用压力调节蝶阀，伺服电机直驱阀板，实现连续无级开度调节，通过改变流导实现腔体内压力动态控制。该系列为美幸辉压力控制专用阀主力型号，需要搭配品牌专用压力控制器组成完整闭环控制系统。产品通径覆盖 25A‑250A，可适配常压至高真空宽压力区间，低颗粒、低泄漏、低噪音，兼顾科研实验与半导体量产设备使用需求。
MIYUKI/美幸辉 真空蝶阀 进口
MIYUKI 美幸辉 B 系列（BAR 系列）伺服控制真空蝶阀，是真空系统专用压力调节蝶阀，伺服电机直驱阀板，实现连续无级开度调节，通过改变流导实现腔体内压力动态控制。该系列为美幸辉压力控制专用阀主力型号，需要搭配品牌专用压力控制器组成完整闭环控制系统。产品通径覆盖 25A‑250A，可适配常压至高真空宽压力区间，低颗粒、低泄漏、低噪音，兼顾科研实验与半导体量产设备使用需求。
MIYUKI/美幸辉 真空蝶阀 进口
1. 简洁蝶阀本体，伺服直驱无背隙采用伺服电机直接驱动阀板结构，省去齿轮传动结构，消除传动背隙，阀板定位精度高。即使微小开度下，也能够稳定实现压力调节，开闭动作噪音低，适合对振动敏感的镀膜、等离子工艺。
2. 低颗粒污染结构阀体内无金属滑动摩擦部件，规避摩擦产生微粒污染腔体。过流接触部件采用 SUS304 不锈钢，内腔精加工，放气低，适配半导体、光学器件等高洁净工艺环境，降低工件污染风险。
3. 优异真空密封性能内部密封、轴外部密封双重密封设计，实现极低泄漏率。内部密封泄漏 1×10⁻⁹Pa・m³/s 以下，轴外部密封泄漏 1×10⁻¹⁰Pa・m³/s 以下，满足高真空工况使用。标准配置氟橡胶 O 型圈，可按需更换适配特殊工艺。
4. 宽口径、宽压力适用范围通径规格 25A～250A，法兰可匹配 JIS、ISO‑F 等多种法兰标准；工作压力范围 10⁵Pa～10⁻⁵Pa，覆盖常压、低真空、中高真空区间，适配多样真空工艺。
5. 断电阀位保持断电后维持当前阀板开度，不会自动关闭或打开；若需要断电自动切断腔体，需要搭配 GAR 系列闸阀，或系统端增加其它断电保护阀门。
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