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MIYUKI/美幸辉 真空蝶阀 严选适配真空排气、腔体隔离，搭配真空系统实现开关与简易节流，多用于半导体、镀膜、科研真空管路。
产品型号：CF厂商性质：经销商更新时间：2026-09-03访 问 量：86
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MIYUKI 美幸辉 BH 系列为气动驱动真空蝶阀，依靠气缸执行器驱动蝶板完成阀门开闭，可实现管路通断，也可做简易节流调节。区别于 BAR/GAR 伺服控制蝶阀，BH 系列为气动款，主要用于真空管路隔离、排气回路通断，不能直接对接 MGCS‑11/MG‑mini485 做高精度闭环压力控制。产品覆盖多种标准法兰，适配从常压到高真空工况，兼顾低粉尘、低泄漏，广泛配置在各类真空设备的排气、旁路、隔离管路。
MIYUKI/美幸辉 真空蝶阀 严选
1. 气动气缸驱动采用气缸驱动蝶板，搭配电磁阀即可完成阀门开关动作，支持弹簧复位；可选择弹簧关闭或弹簧打开模式，实现失气安全保护，失气状态阀门自动切换安全位置，保护腔体。
2. 洁净低颗粒结构阀体内部无金属滑动摩擦部件，减少微粒产生；过流部件采用 SUS304 不锈钢，内腔精加工，放气低，满足半导体、光学器件生产对洁净度的基础要求，减少对工件的污染。
3. 宽口径、宽真空压力范围BH 系列口径覆盖 25A~250A，适配 JIS 标准法兰；工作压力区间从常压 10⁵Pa 至高真空 10⁻⁵Pa，满足粗抽、工艺腔旁路、排气管路等不同真空等级使用。
4. 优异密封泄漏性能阀座采用氟橡胶 O 型圈密封，内部密封泄漏量控制在 1×10⁻⁹Pa・m³/s 以下；轴部采用特殊密封结构，外部泄漏≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s，满足高真空使用要求。
5. 紧凑型本体设计蝶阀结构简单，阀体厚度小，节省真空管路安装空间；可水平、垂直多方向安装，适配设备内部狭小布局；自带位置反馈开关，可向 PLC 反馈阀门开 / 关状态信号。
MIYUKI/美幸辉 真空蝶阀 严选
半导体设备：真空腔体粗抽管路、旁路隔离阀、排气回路通断；光学镀膜：蒸镀、溅射设备的真空管路隔离，腔体隔断；科研实验：高校、研究所真空实验装置管路开关，真空系统隔离；光伏新能源：真空烘烤、脱泡设备管路通断；通用工业真空：真空炉、氦检设备，用于管路切断、旁路切换。
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