浙江芯之纯半导体材料有限公司业务与核心设备简介

北崎国际贸易（北京）有限公司供应

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浙江芯之纯半导体材料有限公司（简称 “芯之纯"），2023 年 12 月成立，位于杭州建德，总投资 2.4 亿元，是半导体上游高纯陶瓷 / 碳化硅关键耗材国产替代企业，聚焦第三代半导体与半导体设备核心零部件。

核心业务与产品

主营：高纯碳化硅（SiC）涂层材料、石墨基 SiC 复合陶瓷（CVD 法制备）。

核心产品：

碳化硅石墨托盘 / 载盘：用于 LED 外延、SiC 长晶、MOCVD 设备。

碳化硅聚焦环 / 喷淋头 / 炉管：刻蚀、CVD、PVD 设备关键耗材。

碳化硅涂层硅舟 / 热场部件：半导体扩散、退火、LPCVD 设备。

技术路线：高纯石墨基底 + CVD 沉积 SiC 涂层，纯度高、耐高温、耐腐蚀、低颗粒污染，对标日美产品。

客户：中微公司、北方华创、LED 外延厂、第三代半导体（SiC/GaN）制造企业。

产能：年产6.31 万件 / 套半导体级高纯陶瓷部件，2025 年 10 月试生产。

二、主要用到的设备仪器

1. 核心生产设备（CVD 与热加工）

高纯碳化硅沉积炉（CVD 炉）：核心设备，在石墨表面沉积高纯 SiC 涂层（温度 1400–1600℃）。

真空高温石墨化炉：石墨基底纯化、致密化处理。

气氛烧结炉：SiC 陶瓷坯体烧结、增强致密度。

2. 精密加工设备

五轴数控加工中心：托盘、聚焦环等复杂形状精密加工（微米级精度）。

高精度车床 / 磨床：内外圆、端面精加工，保证平面度 / 平行度。

CNC 雕刻机：微小沟槽、气孔、异形孔加工。

3. 清洗与检测（半导体级洁净要求）

全自动超声波清洗线：高纯清洗、去颗粒、去金属离子。

超纯水系统（18.2 MΩ・cm）：半导体级清洗用水。

三次元坐标测量仪（CMM）：三维尺寸精密检测。

表面粗糙度仪 / 白光干涉仪：表面微观形貌、粗糙度检测。

高纯气体分析仪 / 氧氮氢测试仪：材料纯度、杂质含量检测。

高温抗氧化 / 热震试验机：耐高温、抗热冲击性能测试。

洁净度粒子计数器：表面微颗粒检测（半导体关键指标）。

北崎国际贸易（北京）有限公司

代理品牌  产品

TORAY东丽         氧气分析仪超声波传感器等

SIBATA柴田        环境测量泵空气采样泵

CCS晰写速          环形光源条形光源同轴光源

SEN日森             汞灯曝光灯

NPM日本脉冲         伺服电机

SUGIDEN杉山电机   检测装置、传感器等

Kakuhunt写真化学   搅拌机

HR HAYACHI-REPIC林时计  检查灯光源控制器

SERIC索莱克    人造太阳能照明灯

SONIC索尼克   超声波风速计

SANKO三高     膜厚计针孔探知器膜厚仪

REVOX莱宝克斯  光源光源装置

TOKISANGYO东机产业    粘度计

瑞士STAUBLI史陶比尔    快速接头

ANALYZER第一热研     氧气分析仪

TOPCON拓普康      亮度计、照度计等

NEWKON新光       针孔机，打孔机，钢印机等

OHKURA大仓电气   温控器、无纸记录仪等

MATSUO松尾电器  温度传感器、陶瓷传感器

EBARA荏原       真空泵

ULVAC爱发科     真空泵、真空计、传感器等

NFK南国工业     真空软管、伸缩管接头等

ITOH伊藤        球磨机 粉碎机

NIKKATO日陶     球磨机、粉碎球、坩埚等

HEIDON新东科学  搅拌机、摩擦机等

WATSON沃森     吸头、移液器等

RIYYO理阳       离心机、浓缩仪等

ESSGES宜格斯    试验台定制、通风柜等

ATAGO爱拓      折光仪 、 浓度计、 糖度计等

PFERD马圈      锉刀、铣削工具等

TEMTOP乐控    粒子计数器、气溶胶监测仪等

JIKCO吉高       氧浓度计、气体分析仪等

OTSUKA大塚电子    光谱仪、线扫描系统、测厚仪等

TSUBAKI椿本   传动链、减速机、千斤顶、联轴器等

优势品牌

日本AND 、USHIO牛尾、MIYUKI美幸辉、KOTOHIRA琴平、ORIENTAL MOTOR东方马达、SURUGA SEIKI骏河精机、NAGARISHI成茂、THINKY新基、NAGANO KEIKI长野计器