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ULVAC爱发科多级罗茨型干泵 HR90，通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。

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HR60ULVAC爱发科多级罗茨型干泵

ULVAC爱发科多级罗茨型干泵 HR60，通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。

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ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵 LS1200A，希望进一步提高排气速度的话，建议您搭配机械增压泵使用。

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LS600AULVAC爱发科螺杆式干式真空泵

ULVAC爱发科螺杆式干式真空泵 LS600A，希望进一步提高排气速度的话，建议您搭配机械增压泵使用。

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