ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 GR60，通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。
产品型号：GR60厂商性质：经销商更新时间：2025-05-29访 问 量：89
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ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 GR60
ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 GR60
干泵"Model:GR"是以获得良好业绩和信赖的"Model:LR/HR"为基础设计的，面向一般产业设计的简单结构的泵。
可应用于大气真空间反复抽气的高负荷领域，可在高负荷下持续使用。
适用load lock室（装载/卸载室），可实现高吞吐量。
感应电机可通用
可以安装防爆电机等特殊电机（可选）
采用多电压兼容电机
空气、惰性气体等洁净气体的真空排气
各种成膜设备放入取出室的真空排气
真空干燥，真空气体置换和真空脱泡等一般产业
真空气体置换，如真空热隔绝和气体填充
| 型号 | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
| 最大排气速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 62(1030) | 112(1860) | 183(3100) | |||
| 60Hz | m3/h(L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
| 极限压力 *1 | Pa | 5.0 | ||||||
| 最大排气压力（吸入圧力） | 大气压 | |||||||
| 最大排气口压力（排出圧力） | Pa | 1.0 ~ 大气压 | ||||||
| 吸气口 | VG50 | VG80 | ||||||
| 排气口 | NW40 | |||||||
| DRP表面处理 | 〇 | |||||||
| 电机 | 输出 [kW] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
| 电压 [V] | 50Hz | 200~240/380~415 | ||||||
| 60Hz | 200~240/380~460 | |||||||
| 质量 | kg | 128 | 188 | 268 | ||||
| 冷却方式 | 冷却水 一次供给压力 | MPa | 0.1~0.3 | |||||
| 冷却水 出入口压差 | MPa | >0.1 | ||||||
| 冷却水温度 | ℃ | 10~30 *2 | ||||||
| 冷却水流量 | L/min | >5.0 | ||||||
| 氮气 | 一次侧 供给圧力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||
| 二次侧 调整圧力 *3 | MPa | 0.05 to 0.1 (运作时) | ||||||
| 轴 | SLM | 5.0 *4 | ||||||
*1 极限压力是氮气（轴封气体）为5.0 SLM时的值。
*2 不结露。
*3 通过调节器调节压力计值。
*4 氮气（轴封气体）的流量固定为5.0SLM。
| 型号 | 材质 | 表面处理 | 重量(kg) | 法兰接口 | GR60A | GR90A | GR180A | |
| 消音器 | RS-01+ 套件A | SUS304 | GBB处理 | 4.1 | KF40 | 〇 | 〇 | - |
| RS-01+ 套件C | SUS304 | GBB处理 | 8.3 | KF40 | - | - | 〇 | |
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