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日本LINTEC林泰克 质量流量控制器

日本LINTEC林泰克 质量流量控制器 MC-7000
高速应答质量流量控制器MC-7000
应答时间200msec的超高速质量流量控制器(MFC)。

  • 产品型号:MC-7000
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2025-09-06
  • 访  问  量:131
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产品详情

通过使用热传感器,实现100msec(typical)高速流量控制。使用LINTEC非接触式热流量传感器和压电控制阀,可实现腐蚀性气体的超高速流量控制。

流量精度可达到±1.0%S.P.,数字通信方式可选择DeviceNet或EtherC

产品特点

  • 超高速流量控制200msec

  • 精度±1%S.P.

  • 使用温度5~50℃

  • 金属密封材

  • 无尘(粒子标准监控)

  • 周围温度补偿传感器

  • 支持EtherCAT通讯方式

  • 支持DeviceNet™通讯方式

日本LINTEC林泰克 质量流量控制器 MC-7000
日本LINTEC林泰克 质量流量控制器 MC-7000

超高速流量制御


日本LINTEC林泰克 质量流量控制器
         从全闭开始控制
日本LINTEC林泰克 质量流量控制器
         脉冲信号


使用范例

快速刻蚀工艺

在半导体制造工艺中,在微细化的同时还需要提高产量。对于控制反应气体流量的质量流量控制器来说,缩短流量控制开始(启动)时间的需求日益增加。超高速质量流量控制器【MC-7000】因为使用了非接触式热式流量传感器,流量传感器与流量测量气体不接触,可实现200msec的超高速响应。同时,因为非接触式的特点,该流量控制器可用于测量腐蚀性气体。

产品规格表


温度最小压差最大压差精度控制范围最小F.S.最大F.S.密封材
5~50℃50kPa300kPa±1%S.P.2~100%F.S.5SCCM20SLMAu



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