


日本LINTEC林泰克 质量流量控制器 MC-7000高速应答质量流量控制器MC-7000应答时间200msec的超高速质量流量控制器(MFC)。
 产品型号:MC-7000
产品型号:MC-7000 厂商性质:经销商
厂商性质:经销商 更新时间:2025-09-06
更新时间:2025-09-06 访  问  量:131
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通过使用热传感器,实现100msec(typical)高速流量控制。使用LINTEC非接触式热流量传感器和压电控制阀,可实现腐蚀性气体的超高速流量控制。
流量精度可达到±1.0%S.P.,数字通信方式可选择DeviceNet或EtherC
产品特点
超高速流量控制200msec
精度±1%S.P.
使用温度5~50℃
金属密封材
无尘(粒子标准监控)
周围温度补偿传感器
支持EtherCAT通讯方式
支持DeviceNet™通讯方式
日本LINTEC林泰克 质量流量控制器 MC-7000
日本LINTEC林泰克 质量流量控制器 MC-7000


在半导体制造工艺中,在微细化的同时还需要提高产量。对于控制反应气体流量的质量流量控制器来说,缩短流量控制开始(启动)时间的需求日益增加。超高速质量流量控制器【MC-7000】因为使用了非接触式热式流量传感器,流量传感器与流量测量气体不接触,可实现200msec的超高速响应。同时,因为非接触式的特点,该流量控制器可用于测量腐蚀性气体。
| 温度 | 最小压差 | 最大压差 | 精度 | 控制范围 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封材 | 
| 5~50℃ | 50kPa | 300kPa | ±1%S.P. | 2~100%F.S. | 5SCCM | 20SLM | Au | 
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