气体质量流量控制器 日本LINTEC林泰克 MC-5000C
用于半导体生产过程的高性能质量流量控制器的 EtherCAT 通信版本，已通过 SEMI 认证。 EtherCAT通信用于半导体制造设备的高速传输系统。

标准设备包括半导体制造工艺所需的金属密封件和 LINTEC 创的补充环境温度的质量流量传感器，该传感器支持液化气体和其他可选规格。

气体质量流量控制器 日本LINTEC林泰克 MC-5000C
气体质量流量控制器 日本LINTEC林泰克 MC-5000C

使用案例

EtherCAT通信设备的统一

越来越多的半导体制造设备配备了EtherCAT通信接口（数字I/F），用于机械臂等运输系统的高速控制。 MFC 具有 65,536 个用于 EtherCAT 通信的节点，MFC 的所有测量系统和驱动系统组件都可以通过 EtherCAT 通信进行统一。

规格表

此表仅显示一般规格的 MFC。 根据可选规格而有所不同。

■简 介
●MC-5000C系列主要是根据SEMI标准所制成的EtherCAT®通讯接口质量流量控制器
■特 点
●通讯接口采用SEMI E54.20-1108标准的EtherCAT®
●搭配LINTEC的环境温度补偿式质流传感器
●内置微处理器提高处理效能
●控制阀由具有极小闭死容积的隔膜阀构造所组成
●采用高速度，高性能的压电控制阀
●使用耐久性高、密闭性高的金属密封件,维护性提高
●采用金属外壳以及各种滤波器，在高磁噪音及直流磁场的环境下亦能维持其安定性