LINTEC林泰克 高性能数字式质量流量计 MM-3102L精度范围±1%S.P.的高性能数字式质量流量计。
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搭载LINTEC的环境温度补足式质流传感器,可实现高速测量。
与传统传感器相比,可以在更低的温度下以更高的精度测量质量流量,因此寿命更长。可对应容易被高温热分解的气体,如O3。
精度范围±1%S.P.
使用温度5~50℃
金属密封件
无尘生产(粒子标准监控)
环境温度补足式质流传感器
RS-485通讯接口
LINTEC林泰克 高性能数字式质量流量计 MM-3102L
LINTEC林泰克 高性能数字式质量流量计 MM-3102L
温度 | 压力规格 | 精度 | 最小F.S. | 最大F.S. | 密封件 |
5~50℃ | 400kPa(D)以下 | ±1%S.P. | 5SCCM | 250SLM | Au |
※此表仅表示一般规格的MFM。特别定制规格请详细咨询LINTEC。
■简 介
●MM-3000L系列是利用MC-3000L原形制成的高性能数字通讯质量流量测量计
■特 点
●采用标准RS-485数字通讯接口
●搭配LINTEC的环境温度补偿式质流传感器
●内置微处理器提高处理效能
●使用耐久性高、密闭性高的金属密封件,维护性提高
●采用金属外壳以及各种滤波器,在高磁噪音及直流磁场的环境下亦能维持其安定性
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