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Kashiyama樫山工业 日本干式真空泵 SDX600除了形状的螺杆外,新的加热器系统进一步强化了工艺耐性,特殊材料的高耐腐蚀性和丰富的温度变化,实现了广泛的工艺响应
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小型(小型化)
在20000升/分钟的水平上,与本公司相比减少35%的脚印。
安全性(安全性)
符合SEMI/CE/NRTL各项标准的高可靠性设计
Kashiyama樫山工业 日本干式真空泵 SDX600
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