IKC/入江工研 焊接波纹管 原装
适用于半导体蚀刻、ALD、真空阀门、直线导入器、镀膜蒸镀及科研超高真空设备，实现无粉尘动密封、腔体位移补偿与振动隔绝。

IKC 入江工研（IRIE KOKEN）是日本专业超高真空弹性元件厂商，焊接波纹管为其核心产品，采用超薄金属碟片内外圈交替精密焊接成型，区别于一体模压波纹管，属于全金属无橡胶动密封元件。产品主要服务半导体、超高真空设备，实现轴向伸缩、往复运动密封、位移补偿、热形变吸收，运动过程无滑动摩擦、产尘极低，适配高真空、超高真空严苛工况，是真空阀门、直线导入机构的关键核心部件。

IKC/入江工研 焊接波纹管 原装

IKC 焊接波纹管分为裸波纹管单体与法兰集成成品两大系列。NS 系列为标准裸焊接波纹管，不带法兰，端部为 Y 型焊接端头，由客户自行焊接法兰接头，型号后缀代表循环寿命：‑1 为 1 万次、‑10 为 10 万次、‑100 为 100 万次循环，规格覆盖微型小口径，选型灵活，多用于设备内部集成装配。NCE 系列为 CF 法兰一体化焊接波纹管，波纹管本体与 CF 刀口法兰工厂预焊完成，到货直接螺栓装配，无需现场焊接，分为标准款与‑K 加强型，通用性强，直接对接标准真空腔体管路接口，适合整机项目配套使用。结构依靠多层碟片弹性形变完成压缩与拉伸，弹簧常数可通过内径、外径、膜片厚度、碟片数量进行调整，满足不同弹力、行程需求，可做少量角向偏移，工况优先以轴向位移为主。

IKC/入江工研 焊接波纹管 原装

密封性能优异，极限漏率≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s，实现超高真空气密，全金属结构无有机橡胶件，放气率低，最高可承受 250℃烘烤除气工艺，适配真空腔体烘烤流程。洁净度表现突出，往复运动不存在部件相互滑动摩擦，几乎不产生颗粒粉尘，满足半导体工艺腔体洁净要求，可耐受部分等离子腐蚀环境。疲劳寿命档位齐全，SUS316L 不锈钢版本满足常规往复工况；AM350 沉淀硬化合金版本大幅提升抗疲劳能力，面向百万次高频循环动作场景，解决频繁启闭带来的波纹管疲劳破损问题。结构紧凑，同等外径条件下对比成型波纹管可获得更大伸缩行程，节省设备内部安装空间，裸管、集成法兰两种形态兼顾定制开发与标准项目使用。