IKC/入江工研 焊接波纹管 北崎供应
适用于半导体蚀刻、ALD、真空阀门、直线导入器、镀膜蒸镀及科研超高真空设备，实现无粉尘动密封、腔体位移补偿与振动隔绝。

IKC（IRIE KOKEN）入江工研焊接波纹管，属于碟片叠焊式金属波纹管，将超薄金属圆盘膜片，内外径交替精密焊接成型，区别于液压一体成型波纹管。依靠膜片弹性形变完成压缩、拉伸运动，内部无滑动摩擦，无颗粒产生，是超高真空系统的核心弹性密封元件，广泛用于半导体、电子束设备、科研真空装备，实现动密封、位移补偿、热变形吸收、振动隔离功能。

IKC/入江工研 焊接波纹管 北崎供应

• 真空密封性能优异极限漏率≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s，满足超高真空要求；全金属低放气，最高烘烤温度 250℃，适配真空腔体烘烤工艺。
• 力学性能可定制同等外形尺寸下伸缩行程大、结构紧凑；弹簧常数可通过内径、外径、膜片厚度、膜片片数调整，适配不同弹力、行程需求；支持轴向为主位移，允许少量角向偏移，不建议大角度侧向扭曲。
• 多级疲劳寿命可选覆盖 1 万、10 万、100 万次循环档位，SUS316L 耐腐蚀；AM350 合金抗疲劳更强，适配高频往复运动场景。
• 洁净无颗粒运动无摩擦副，不会产生粉尘碎屑，适配半导体工艺腔体、ALD、蚀刻等对颗粒管控严苛设备。
• 端部适配灵活裸波纹管 Y 型端头焊接面积大，焊接牢固；波形无端头适合狭小空间嵌入式装配；法兰成品直接对接标准 CF 真空接口。

IKC/入江工研 焊接波纹管 北崎供应

密封性能优异，极限漏率≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s，实现超高真空气密，全金属结构无有机橡胶件，放气率低，最高可承受 250℃烘烤除气工艺，适配真空腔体烘烤流程。洁净度表现突出，往复运动不存在部件相互滑动摩擦，几乎不产生颗粒粉尘，满足半导体工艺腔体洁净要求，可耐受部分等离子腐蚀环境。疲劳寿命档位齐全，SUS316L 不锈钢版本满足常规往复工况；AM350 沉淀硬化合金版本大幅提升抗疲劳能力，面向百万次高频循环动作场景，解决频繁启闭带来的波纹管疲劳破损问题。结构紧凑，同等外径条件下对比成型波纹管可获得更大伸缩行程，节省设备内部安装空间，裸管、集成法兰两种形态兼顾定制开发与标准项目使用。