IKC/入江工研 焊接波纹管-北崎
适用于半导体蚀刻、ALD、真空阀门、直线导入器、镀膜蒸镀及科研超高真空设备，实现无粉尘动密封、腔体位移补偿与振动隔绝。

IKC（IRIE KOKEN）入江工研焊接波纹管，属于碟片叠焊式金属波纹管，将超薄金属圆盘膜片，内外径交替精密焊接成型，区别于液压一体成型波纹管。依靠膜片弹性形变完成压缩、拉伸运动，内部无滑动摩擦，无颗粒产生，是超高真空系统的核心弹性密封元件，广泛用于半导体、电子束设备、科研真空装备，实现动密封、位移补偿、热变形吸收、振动隔离功能。

IKC/入江工研 焊接波纹管-北崎

• 泄漏率：≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s

• 烘烤最高温度：250℃

• 工作环境：内部真空，外部常压

• 位移形式：优先轴向位移，允许微小角向偏移

• 材质：SUS316L、AM350 沉淀硬化合金；法兰 SUS304L

• 循环寿命：1 万 /10 万 /100 万次多档位可选

IKC/入江工研 焊接波纹管-北崎

• 半导体设备：真空阀门动密封、真空直线导入器、Loadlock 锁腔、ALD、蚀刻设备、腔体位移补偿

• 精密真空设备：电子束设备、蒸镀镀膜机、电子显微镜、同步辐射科研平台

• 真空管路系统：管路热胀冷缩补偿、振动隔离、吸收装配错位应力

• 优先轴向往复，禁止大角度侧向扭曲，避免波纹管提前疲劳开裂

• 严禁超行程压缩、拉伸，按照型号允许最大位移使用

• 烘烤温度不可超过 250℃，升降温平缓，防止热应力损伤

• 焊接装配时做好波纹管本体防护，避免高温烧蚀膜片

• 根据设备实际往复循环次数，匹配对应寿命等级型号