IKC/入江工研 焊接波纹管-全新产品
适用于半导体腔体、镀膜、电子束科研真空设备，完成动密封、热形变补偿与振动隔离。

IKC（IRIE KOKEN）入江工研焊接波纹管为碟片叠焊式全金属波纹管，由超薄金属膜片内外径交替激光焊接制成，区别于传统液压成型波纹管，依靠膜片弹性形变实现伸缩补偿，无滑动摩擦，无颗粒析出，是超高真空环境下的核心弹性密封部件。产品摒弃橡胶类密封材质，放气率低，可承受高温烘烤，适配严苛的真空工艺工况，主要实现动密封、位移补偿、热变形吸收以及振动隔绝，广泛配套半导体及科研真空装备。

IKC/入江工研 焊接波纹管-全新产品

该波纹管具备优异的真空密封能力，极限漏率可达 1×10⁻⁹ Pa・m³/s，满足超高真空使用要求，最高烘烤温度 250℃，适配腔体除气工艺。结构紧凑，轴向伸缩行程大，弹簧刚度可通过膜片参数调整，允许少量角向偏移，运动过程无摩擦副，不会产生粉尘碎屑，满足半导体工艺对洁净度的严苛要求。端部形式丰富，裸管便于嵌入式狭小空间安装，法兰成品直接对接通用真空接口，适配多种装配方案。

IKC/入江工研 焊接波纹管-全新产品

• 半导体设备：真空阀门动密封、真空直线导入器、Loadlock 锁腔、ALD、蚀刻设备、腔体位移补偿

• 精密真空设备：电子束设备、蒸镀镀膜机、电子显微镜、同步辐射科研平台

• 真空管路系统：管路热胀冷缩补偿、振动隔离、吸收装配错位应力

• 优先轴向往复，禁止大角度侧向扭曲，避免波纹管提前疲劳开裂

• 严禁超行程压缩、拉伸，按照型号允许最大位移使用

• 烘烤温度不可超过 250℃，升降温平缓，防止热应力损伤

• 焊接装配时做好波纹管本体防护，避免高温烧蚀膜片

• 根据设备实际往复循环次数，匹配对应寿命等级型号