IKC/入江工研 焊接波纹管-北崎国际
适用于半导体腔体、镀膜、电子束科研真空设备，完成动密封、热形变补偿与振动隔离。

IKC（IRIE KOKEN）入江工研焊接波纹管是碟片叠焊式全金属弹性密封元件，由超薄金属膜片内外边缘交替精密焊接加工而成，区别于液压成型波纹管，依靠膜片形变实现伸缩补偿，运动过程无滑动摩擦，不会产生颗粒污染，是超高真空系统的关键零部件。产品全部为全金属结构，无橡胶、塑料等有机密封材质，可承受高温烘烤除气，漏率表现优异，适配严苛的高洁净真空工况，广泛配套半导体及各类科研真空设备。

IKC/入江工研 焊接波纹管-北崎国际

产品分为多个成熟系列，NS 系列为无法兰裸波纹管，端部为 Y 型焊接端头，由客户自行焊接法兰集成到设备内部，提供 1 万、10 万、100 万次不同循环寿命规格；NCE 系列两端预焊标准 CF 刀口法兰，到货可直接螺栓装配，无需现场焊接，‑K 版本为高疲劳加强款；NA 系列以 AM350 合金为主材，抗疲劳性能突出，适合大通径高频往复工况。主流材质选用 SUS316L，高频运动场景可选用 AM350 沉淀硬化合金进一步提升使用寿命。

IKC/入江工研 焊接波纹管-北崎国际

• 半导体设备：真空阀门动密封、真空直线导入器、Loadlock 锁腔、ALD、蚀刻设备、腔体位移补偿

• 精密真空设备：电子束设备、蒸镀镀膜机、电子显微镜、同步辐射科研平台

• 真空管路系统：管路热胀冷缩补偿、振动隔离、吸收装配错位应力

• 优先轴向往复，禁止大角度侧向扭曲，避免波纹管提前疲劳开裂

• 严禁超行程压缩、拉伸，按照型号允许最大位移使用

• 烘烤温度不可超过 250℃，升降温平缓，防止热应力损伤

• 焊接装配时做好波纹管本体防护，避免高温烧蚀膜片

• 根据设备实际往复循环次数，匹配对应寿命等级型号